応用方面:
- 適用ウェーハサイズ: 6インチ、8インチ、12インチウェーハ
使用可能なプロセス:
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ドライ酸化プロセス、ウェット酸化プロセス、アニールプロセス
経験:
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摂氏850度〜1250度の雰囲気高温プロセス
シリコンウェーハボートの利点
欠陥密度とパーティクル問題を低減し、歩留まりを向上
- シリコンの材料特性を利用して、石英および炭化ケイ素のプロセス上の課題を克服
- 単結晶シリコン材料を使用して、多結晶シリコン材料がプロセスで引き起こす欠陥を低減
- 豊富なウェーハ支持柱のカスタマイズ設計経験
- ウェーハ支持柱とウェーハの接触点を最小限に抑える設計
実証済みで、金属汚染が少ない
- 石英および炭化ケイ素材料と比較して、シリコン材料には金属不純物がありません
変形や結合損傷の問題なし
- 同じ材料同士のため、熱膨張と収縮によるウェーハボートとウェーハ間の摩擦が発生しません
- 高温プロセスにおいて、石英ウェーハボートの使用時に一般的な変形の問題が発生しません
プロセス関連費用を節約
- 石英および炭化ケイ素ウェーハボートと比較して、シリコンウェーハボートは設備の稼働率を向上させることができます
- 洗浄とメンテナンスの費用を削減
- 修理可能性とカスタマイズされたニーズを提供できます