応用方面 AI部品及びチャンバーに対し、パーティクル低減工程を提供 優れた防食性 優れた塗膜密着性 優れた耐プラズマ性 優れた絶縁性 優れた耐摩耗性 特性 原廠認証 製品のライフサイクルを延長 製品の厚さ制御 全自動生産による高い安定性
