応用分野： 半導体エッチング装置用上部電極＆シリコンリング 航空宇宙光学リモートセンシング構造部品 光学ガイダー 特性： 安定した品質、優れたエッチング均一性 低汚染、粉塵粒子の飛散なし 低消耗、長寿命
