イオン注入装置の部品

メーカー認定の装置サプライヤー

タングステン/タングステンランタン/モリブデン/タンタル/チタン/窒化ホウ素/

グラファイト材質の標準部品

製品ライフサイクルや研磨などに対応したカスタマイズソリューションを提供

bushing、AMUチャンバーの修理サービスを提供