應用方面:
- 適用之晶圓尺寸: 6吋，8吋，12吋晶圓
可用製程:
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乾式氧化製程，濕式氧化製程，回火製程
經歷:
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攝氏850度~1250度C之氣氛高溫製程
矽晶舟的優點
- 降低缺陷密度及粉塵問題以提升良率
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利用矽的材料特性以克服石英及碳化矽在製程上的挑戰
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使用單晶矽材料以降低多晶矽材料在製程上所造成的缺陷
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晶柱的客製化設計經驗豐富
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極小化晶柱與晶元接觸點的設計
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實務驗証具較低的金屬污染
- 與石英與碳化矽材料相較無金屬不純物於矽材料中
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無變形及鍵結損傷的問題
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因相同材質間不會因熱漲冷縮而造成晶舟與晶元間的摩擦
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在高溫製程中不會出現在使用石英晶舟時常見的變形問題
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節省製程相關費用
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相較於石英及碳化矽晶舟，矽晶舟可提高設備的使用率
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降低清洗與保養的費用
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可以維修性及提供客製化的需求