高容量、高效率真空入口或排氣Trap
- 保護油封真空pomp和 dry pump
- 去除可能破壞真空pump的腐蝕性和磨蝕性粉塵.
- 適用製程LPCVD、PECVD、ALD、MOCVD、金屬蝕刻和HVPE
- 模組化設計使裝置更易於拆卸和清潔
- 元件更換快速簡便
- 提供水或製冷劑冷卻選項
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MULTI-TRAP® configuation
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階段 1:可擊倒重粉塵和一些冷凝物
- 冷卻線圈可抓取更多冷凝物，降低氣體溫度
階段 2 :盒式元件進行第一次過濾
階段 3 :濾芯去除更細的顆粒
- 氣體排出
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適用于所有製程和系統的真空過濾元件
- 針對不同應用的多種真空過濾材質選擇
- 易於更換的真空濾芯
- 隨著需求的變化，輕鬆升級trap.
- 節省寶貴的時間，不會破壞整個真空系統來更改元件