高容量、高效率真空入口或排气Trap
- 保护油封真空pomp和 dry pump
- 去除可能破坏真空pump的腐蚀性和磨蚀性粉尘.
- 适用制程LPCVD、PECVD、ALD、MOCVD、金属蚀刻和HVPE
- 模块化设计使装置更易于拆卸和清洁
- 组件更换快速简便
- 提供水或制冷剂冷却选项
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MULTI-TRAP® configuation
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阶段 1:可击倒重粉尘和一些冷凝物
- 冷却线圈可抓取更多冷凝物，降低气体温度
阶段 2 :盒式组件进行第一次过滤
阶段 3 :滤芯去除更细的颗粒
- 气体排出
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适用于所有制程和系统的真空过滤组件
- 针对不同应用的多种真空过滤材质选择
- 易于更换的真空滤芯
- 随着需求的变化，轻松升级trap.
- 节省宝贵的时间，不会破坏整个真空系统来更改组件